半导体制造过程的批间控制和性能监控 郑英,王妍,凌丹 著.pdf 《半导体制造过程的批间控制和性能监控》基于当前半导体行业制造过程中存在的问题，介绍了多种改进的批间控制和过程监控算法及其性能。第1章为半导体制造过程概述，包括国内外研究现状和发展趋势。第2、3章介绍批间控制、控制性能和制造过程监控。第4～7章讨论机台干扰、故障、度量时延对系统性能 叁号仓库 2024年02月20日 0 点赞 0 评论 1758 浏览
