- 作者：空
- ISBN：9787030724694
- 出版社：科学出版社
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本书面向世界科技前沿和国家重大需求，针对高效率Ⅲ族氮化物LED芯片设计和制造的关键问题，基于作者在III族氮化物LED外延生长和芯片制造领域十余年的研究基础和产业化经验，融入国内外同行在这一领域的研究成果，从蓝光/绿光/紫外LED外延结构设计与材料生长、水平结构/倒装结构/垂直结构/高压LED芯片设计与制造工艺、LED失效机理与可靠性这三个方面系统阐述Ⅲ族氮化物LED芯片设计和制造技术。 本书共六章，第一章对Ⅲ族氮化物LED的发展历程、工作原理和物性参数进行了全面的介绍；第二章详细阐述了蓝光/绿光/紫外LED外延生长工艺；第三章介绍高效率水平结构LED芯片制造工艺；第四章介绍倒装结构LED芯片制造技术，对高反射率、低阻欧姆接触p型电极和通孔接触n型电极进行了详细的阐述；第五章介绍高压LED芯片、垂直结构LED芯片和Mini/Micro-LED芯片制造工艺；第六章介绍LED芯片失效机理和LED光学、电学、色度学参数在线测试方法。
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