王国彪

纳米制造前沿综述.pdf

本书分别从纳米制造的共性技术、纳米制造中的建模、纳米制造技术综述、纳米制造中的检测与控制等方面,较为系统地阐述了微/纳米制造领域所面临的机遇与挑战、当前的研究现状与发展趋势、共性技术的基本原理、关键科学问题及未来的研究方向。